高效過濾器的檢漏通常采用PAO發生器（qì）在濾器（qì）上遊發塵，使用光度計（photometer）檢（jiǎn）測濾器上下（xià）遊氣溶膠濃度來判定濾器是否（fǒu）有泄漏。發塵（chén）的目的是（shì）因（yīn）高效（xiào）過濾器上遊塵粒濃度較低，僅用粒子計數器在不發塵（chén）的情況下檢（jiǎn）測，較難發現有泄漏，需補充（chōng）發塵才能明顯、容易地發現泄漏。
人工氣溶膠DOP已有近40 年曆（lì）史， 一段（duàn）時間以來，因被懷疑（yí）對人有致癌（ái）作用（yòng），現（xiàn）常以（yǐ）DOS（Dioctylsebaeate癸二酸二辛脂（zhī））亦稱DEHS[di(2-ethylexyl)sebacate]及PAO(polyaphaolefin聚a烯烴）等（děng）代替，但實驗方法仍稱“DOP法”。大（dà）氣塵由於其（qí）濃度隨地點及時間（jiān）等變（biàn）化，有時較大，有（yǒu）時較低，一般不用來（lái）作為檢漏用。FDA指出在進行檢（jiǎn）漏時，選用的氣溶膠應符（fú）合一（yī）定的理（lǐ）化要求，不應使用會引起微生（shēng）物汙染、造成微生物滋生的氣溶膠。
PAO發生器可分為熱發生和冷發生兩種，熱發生器是利（lì）用（yòng）蒸發冷凝的原理，被（bèi）霧化的（de）氣溶（róng）膠粒子用加熱器蒸發，並在特定（dìng）條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴（dī）後留下0.3um左右的霧狀（zhuàng）DOP進入風道，粒徑分布在0.1～0.3um。冷發生器是（shì）指（zhǐ）利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經laskin噴管飛濺產（chǎn）生物態的（de）多分散相DOP氣（qì）溶膠，最大分（fèn）布粒徑在0.65um左右。在對過濾器進行掃描檢漏時，經（jīng）常使用冷DOP。
檢測儀器（qì）有兩種，一種是氣溶膠光度計，另一種（zhǒng）是粒（lì）子計數器（qì），高效過濾器檢漏（lòu）中常用（yòng）的檢測（cè）儀器是氣溶膠光度（dù）計（以下簡稱（chēng）光度計（jì）），是一種前散射線性光度計，它由真空泵、光散射室、光（guāng）電倍增管、信號處理轉（zhuǎn）換（huàn）器和（hé）微處理器等組成（chéng）。其工作原理是：當氣流被真空泵抽至光散（sàn）射（shè）室時，其中（zhōng）的顆粒物質散射光線至光電倍增（zēng）管。在光電倍增管（guǎn）中，光被轉換成電信號，此信號經放大和數字化後由微處理器分析（xī），從而測定散（sàn）射光的強度。通過與參比物質產生的信號的對比，可以（yǐ）直接測量氣體中顆粒物質的質（zhì）量（liàng）濃度，因此其用（yòng）途十分廣泛。而粒子計（jì）數器，它的測試值反映（yìng）的是氣流中粒子個（gè）數的濃度!粒" #$ 並規定粒徑範圍，其靈（líng）敏度較高，對所有塵源氣溶膠（jiāo）適用（yòng），選擇餘地較大，但在高效過濾器檢漏中較少使用，兩種儀器測試結果（guǒ）難以定量對比。
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