空氣過濾器的選用（yòng）：淨化空（kōng）調係統根據大氣含塵濃度、大氣中各種汙染物（wù）濃度和產品生產工藝特點及要求（qiú）配置各類空（kōng）氣過（guò）濾器——粗效、中效、高中效、亞高效和高效、超（chāo）高效以及化學過濾器等。
具（jù）體淨（jìng）化空調係統中空氣過濾器的配置和選用應根據潔淨室的空氣潔淨度等級和產品生產工藝的特殊要求（當工藝無特殊要求時，一般都是按空（kōng）氣潔淨度等級配置（zhì））合理（lǐ）配（pèi）置和選（xuǎn）用，對（duì）於6級（1 000級）和比6級潔淨度（dù）差的潔淨室的淨化（huà）空調係統通常采用三級空氣過濾，即粗（cū）效、中效（xiào）和（hé）高效過濾器；粗效、中效（xiào）（或中高效）過（guò）濾器，通常設在空氣處理裝置(AHU)內，且將中效或中高效設在正壓段；高效或亞高效過濾（lǜ）器一般設（shè）在潔淨室（shì）內淨化空（kōng）調係統的末端，也有將高效過濾器集中設在（zài）集（jí）中（zhōng）的空氣（qì）處理裝置(AHU)內，但此時應對送風管道提出嚴格的清潔要求，以避免淨化後的空氣被（bèi）汙染。
對於5級（100級）和更嚴（yán）格的潔淨室的淨化空調係統中空氣過（guò）濾器的配（pèi）置，應根據潔（jié）淨（jìng）室的（de）總體設計方案及采用的（de）淨化空調係統的要求配置各類過濾器，比如有的集成電路生產用4級(O.ltim)和更嚴要（yào）求的潔淨室采用新風集中處理，為了嚴格去除大氣中的微粒和各種汙染（rǎn）物，通常在新風處理裝置中設置粗效、中效（中高效）、亞高效甚至高效過濾器和化學過濾器或水噴淋裝置等；在潔淨室的循環風係（xì）統還設有高效、超高效和（hé）化學過濾器等；有的（de）集成電路生產用潔淨室還在生產過程的某些生產區、生產（chǎn）工序或工藝設（shè）備設微環境裝置，以確（què）保產品生產所需的空氣潔淨（jìng）度要（yào）求。
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