層流（liú）超淨工作台（tái）的高效過濾器進DOP檢漏試驗介紹
1. 概述
高效過濾器及其安裝如存（cún）在缺陷，如過濾（lǜ）器本身有小孔洞或者安裝不嚴密形成（chéng）微小裂縫，都會導致（zhì）達（dá）不到預定（dìng）的淨化效果。因此，高效過濾器安裝或更（gèng）換後，必（bì）須對過濾器和安裝連接處進行檢漏。
2. 檢漏目的
通過測試高效過濾器的泄漏量，發現高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以（yǐ）便采取補救措施。
3. 檢漏範圍
潔淨區、層（céng）流工作台以及設備上的高效過濾器等。
4. 檢漏方法
常用（yòng）的是DOP法（fǎ）檢漏（即采用DOP溶劑作為塵源，與氣（qì）溶膠光度（dù）計配合檢漏），也可用塵埃（āi）粒子計數器掃描法來檢（jiǎn）漏（即采用大氣塵作為塵源，與粒子計（jì）數器配合檢漏）。由於粒子計數器讀數（shù）為累積讀數（shù），不利（lì）於掃描，巡（xún）檢速度慢；另外，在被測高（gāo）效過濾器（qì）上風側，往往大氣塵濃度較低，需補充發煙才易發現（xiàn）泄漏，粒子計數器法檢（jiǎn）漏的的這些不足DOP法恰恰可以彌補，故國（guó）外廣泛采用（yòng）DOP法檢漏。
5. DOP法檢漏
5.1. 工作原理
在被檢測高效過濾器（qì）上風側發DOP氣溶膠（jiāo）作為塵源（DOP即鄰苯二甲酸二辛酯，分子量390.57，噴霧後（hòu）粒子呈球形狀），在下（xià）風側（cè）用光度計進行采樣，采集到的空氣樣品通（tōng）過光度計的擴散室，含塵（chén）氣體經過光度計產生的散射光由光（guāng）電效應和線性放大轉換為電量（liàng），並由微安表快（kuài）速（sù）顯示，便可測得氣溶膠的（de）相對濃（nóng）度。
DOP試驗實際測得的是高（gāo）效過濾器的穿透（tòu）率。
5.2. 材料與儀器
① 塵源（DOP溶劑）；
②
DOP發生器（qì）[為產生煙霧的裝置，DOP溶（róng）劑倒入發生器容器後，在一定壓力或（huò）加熱（rè）條件下產（chǎn）生氣（qì）溶膠煙霧被送入（rù）高效過濾器上風側（cè）（對DOP液體加熱，形成DOP蒸汽，蒸汽在（zài）特定的條件下冷凝成（chéng）微（wēi）小液滴，去掉過大和（hé）過小的液滴，僅留下0.3μm左右的顆粒，霧狀DOP進入風道）；
③ 氣溶膠光度計（測定和顯示氣溶膠濃度的儀器，應注明校驗有效期，必須是校驗合（hé）格且在有效期內的方（fāng）可使用）；
④ 氮（dàn）氣（qì）；
⑤ 環（huán）氧樹脂矽膠；
⑥備用的（de）所需型號的高效過濾器
5.3.檢漏（lòu）試驗工作程序
5.3.1. 檢（jiǎn）漏（lòu）準備
準（zhǔn）備好檢漏所需器材與待檢（jiǎn）區域（yù）的淨化空調係統送風管（guǎn）道（dào）道平麵布置圖，並通知淨化空調設（shè）備公司於檢漏當日（rì）到場進行打膠及更換高效過濾器（qì）等操作。
5.3.2.檢漏操作
① 檢查氣溶膠發生器中DOP溶劑的液位是否高於低液位，不足則應（yīng）添加。
② 連接氮氣瓶與氣溶膠發生器，開啟氣溶膠（jiāo）發生器的溫度開關，至紅燈轉換為綠燈，即表（biǎo）示到溫（約390～420℃）。
③ 將測試軟管的一端唄（bei）在氣溶膠光度（dù）計的上遊濃（nóng）度（dù）測試口，另一端置於被檢測高效過濾器的進風側（上遊側）
[係統檢漏可直接（jiē）把DOP煙霧放入（rù）空調器內（注意不要被空調器內的過濾（lǜ）器吸附了）；若DOP發（fā）生器較小，達不到規定的（de）濃（nóng）度，可放在被測高效過濾器的（de）靜壓（yā）箱內，層流工作台可直接放入風機（jī）吸入口]，打開光（guāng）度（dù）計開關，將測試值調節至“100”。
④ 打開氮氣開關（guān），壓力控製在0.05～0.15Mpa，緩慢打開氣溶膠發生（shēng）器的油閥，控製（zhì）光度計的測試值在10～20，待測試值穩定後輸入該上遊測得濃度，即可進行後續（xù）的掃描巡檢操作。
⑤將測試軟管的一端唄在氣溶膠光度計的下遊濃度測試口（kǒu），用另一端即采樣頭掃（sǎo）描過濾器的出風側以及支架，采樣頭離過濾器距離約3～5cm，沿著過濾器內邊框等來回掃描，巡檢速度在5cm/s以下，測（cè）試範圍包括過濾器的濾材、濾材與其框架內部的連接、過濾器框架的密封墊和過濾器（qì）組支撐框架（jià）之間的連接、支撐框架和牆壁或頂（dǐng）棚之間的連接，以檢查過濾器介質中的小針孔和其（qí）它損壞、框架密封、墊圈密封以及過濾器（qì）構架（jià）上的漏（lòu）縫。
⑥ 光度計上的儀（yí）表指示值即為高效過濾器的穿透率。當高效過濾器的效率在可接受標準以下，即用環氧樹脂矽膠堵漏或緊固螺栓（必要時暫停發煙更換高效過濾器），然後再進行掃（sǎo）描巡檢，直至儀表指示值在可接受範圍內。
⑦ 檢（jiǎn）漏應及時（shí）填寫記錄，用環氧樹脂矽膠堵漏的應用簡圖（tú）標示堵（dǔ）漏點。
5.3.3.可接受標準
100,000級潔淨區高效過濾器的效率應＞95%（氣溶膠（jiāo）光（guāng）度計儀表指示值小於5）；
10,000級潔淨區高效過（guò）濾器的效率應＞99.97%（即氣溶膠光度計儀表指示（shì）值小（xiǎo）於0.03）。
6. 說明
6.1.高效過濾（lǜ）器安（ān）裝或更換後必須進行DOP檢漏；10,000級以上潔淨區高效過濾器日常檢漏一般每年一次（無菌區宜半年一次）；潔淨（jìng）區日常監控中塵粒數（shù）、沉降菌、風速等出現顯著（zhe）異常時，也應（yīng）檢漏。
6.2. 作（zuò）為塵源的DOP中含苯環，人們懷疑它有致癌性，美國（guó）已找出了一種叫做Emery 3004的替代物，雖然塵源不同但檢漏的原理（lǐ）與方法完全相同。
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